Max 8” Square(200x200 mm2)
Atom-Ax
Atom-Ax
고객 친화적 사양 확장성 강화 모델
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Substrate Size
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Thermal & Plasma Enhanced ALD (선택 가능)
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Laminar Flow Type(Lateral or Traveling Wave)
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Process Temperature
Max 350 ℃
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Number of Canisters : Max 5 Set (선택 가능)
- Precursor 4 Set
- Deionized Water : 1 Set
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Reactant
External Gas Reactant 2 (Ex. O2, O3, NH3, H2S Etc.)
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Load Lock 추가 가능
COMPANY OVERVIEW
회사명
노피다솔루션
설립연도
2022년 04월
대표이사
조만배
주소
부산광역시 부산진구 전포대로 199번길 15
연락처
051.803.8352
사업자등록번호
123-45-67890