Max 4” Square(100×100 mm²)
Atom-Mini
Atom-Mini
책상 위에 올려놓고 사용가능한 Compact Type Model
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Substrate Size
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Thermal ALD
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Laminar Flow Type(Lateral or Traveling Wave)
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Process Temperature
Max 350 ℃
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Number of Canisters : Max 3 Set
- Precursor 2 Set
- Deionized Water : 1 Set
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Reactant
External Gas Reactant 1 (Ex. O3 , NH3 , H2S Etc.)
COMPANY OVERVIEW
회사명
노피다솔루션
설립연도
2022년 04월
대표이사
조만배
주소
부산광역시 부산진구 전포대로 199번길 15
연락처
051.803.8352
사업자등록번호
123-45-67890