회사소개
BUSINESS
Company at a Glance
설립 및 위치
설립 : 2024년 4월
본사 : 경기도 용인시 기흥구
핵심 사업 분야
Thermal ALD
PEALD
Custom ALD System
주요 고객군
반도체 · 디스플레이 관련 기업
연구기관 · 대학 · 첨단소재 기업
핵심 보유 역량
진공 증착 장비 설계
ALD 공정 개발
아토몬은
R&D부터 파일럿 양산 단계까지 확장 가능한
원자층 증착 장비 플랫폼을 제공하여, 고객의 차세대 박막 공정 성공을 지원합니다.
Why ALD (Atomic Layer Deposition)?
원자 단위 두께 제어 & 균일도
Self-limiting 반응 메커니즘을 통해 옹스트롬(Å) 단위의 두께 조절이 가능하며 대면적에서도 완벽에 가까운 두께 균일도를 제공합니다.
3D 구조에서의 우수한 Conformality
복잡한 3D 패턴, 고종횡비(High Aspect Ratio) 트렌치 구조에서도 표면 형상을 따라 빈틈없는 박막 코팅(Step Coverage ~100%)이 가능합니다.
저온 공정 및 다양한 재료 적용
민감한 기판 보호를 위한 저온 증착이 가능하며, 산화물, 질화물, 금속 등 다양한 고품질 기능성 박막 형성을 지원합니다.
주요 경력
한양대학교 신소재공학 박사 수료
주요 경력
한솔 테크닉스 소재연구소 사파이어 성장기 설계 엔지니어
엘아이지 인베니아 플라즈마 건식 식각 장비 설계 엔지니어
넥서스비 원자층 증착 장비 설계 엔지니어
주요 실적
· 원자층 증착 장비 제작 후 70여 개 국내/외 연구개발그룹 및 대학에 장비 납품 실적 보유
· 원자층 증착 기술 관련 14개 정부 R&D 지원사업 수행
ASM Korea, ULVAC Korea 등 반도체, 디스플레이 관련 글로벌 장비사에 원자층 증착 장비 납품 실적 보유